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原子层沉积制备ZnO薄膜及其物性研究
【机 构】
:
紫外光发射材料与技术教育部重点实验室,东北师范大学,吉林 长春 130024
【出 处】
:
第五届全国掺杂纳米发光性质学术会议
【发表日期】
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2014年期
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