论文部分内容阅读
随着电子产品中触摸屏应用的不断扩大，透明导电薄膜凭借其禁带宽度大(Eg在3.0eV左右)、导电性好(p＜10-3Ω ·cm)、可见光区透过率高(＞80％)、红外光区反射率高等优良的光电特性，成为了触控产品中的核心部件.新型透明导电薄膜AZO (ZnO∶Al2O3)不仅具有与ITO(In2O3∶Sn)透明导电薄膜可比拟的光电性能，且原材料价格低廉、无毒、易于制备，在氢等离子体环境中性能稳定.因此AZO导电薄膜逐渐成为在触摸屏领域各学者们研究的热点.