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气压对单靶磁控溅射一步制备的CIGS薄膜特性的影响
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054
【出 处】
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第16届全国固态离子学学术会议暨下一代能源材料与技术国际研讨会
【发表日期】
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2012年期
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