【摘 要】
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超高精度的波像差检测装置是高端光刻投影物镜系统研发和装调的必备设备,也是光刻工艺研发和周期性调试的必备工具。对于光刻系统而言,光源功率的提高导致掩模热效应和投影物
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院大学;
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<正>超高精度的波像差检测装置是高端光刻投影物镜系统研发和装调的必备设备,也是光刻工艺研发和周期性调试的必备工具。对于光刻系统而言,光源功率的提高导致掩模热效应和投影物镜热像差成为影响套刻精度和成像质量的突出问题,因此需要对投影物镜波像差进行在线快速检测及补偿控制。光栅剪切干涉技术使用光栅调制光场的空间相干性,采用扩展光源照明,光能利用率高;且仅在物面和像面放置干涉仪部
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