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磁控溅射c-NbNCNx多层膜的结构,力学及摩擦学性能的研究
【机 构】
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吉林大学材料科学与工程学院
【出 处】
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中国晶体学会第五次全国会员代表大会暨学术年会
【发表日期】
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2012年8期
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