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本文介绍了兰州物理研究所金属膨胀式真空标准装置的工作原理,以及使用计算机对金属膨胀式真空标准装置前级标准进行控制和数据采集的原理和方法,给出了对RUSKA7010型石英布尔登规进行计算机控制的具体方法.本标准主要用于校准电容薄膜真空计和磁悬浮转子真空计.
金属膨胀法真空标准装置的计算机控制技术
【摘 要】
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本文介绍了兰州物理研究所金属膨胀式真空标准装置的工作原理,以及使用计算机对金属膨胀式真空标准装置前级标准进行控制和数据采集的原理和方法,给出了对RUSKA7010型石英布
【机 构】
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兰州物理研究所(甘肃兰州)
【出 处】
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2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
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2004年期
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