2 m比长仪动态校准位移传感器的研究

来源 :2010年全国几何量精密测量技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:daocaoren666666
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介绍了2 m比长仪的改造及其功能的拓展,用其校准大量程位移传感器的方法。以校准激光三角法位移传感器为例,采用动态校准方法实现可外触发位移传感器的校准。对德国米依公司optoNCDT1700激光位移传感器进行了校准实验,在比长仪滑板运动速度为1 mm/s情况下进行了动态测量,实验验证了传感器的全量程线性度小于0.08%FSO。
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