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膜基结合强度是簿膜最重要的性能之一。由于实际工件大多在交变应力下服役，薄膜的剥落是一个长时间高周次的过程，失效过程属于疲劳失效。该课题组提出采用高周次界面疲劳强度作为膜基结合强度的判据，以膜基界面处的切应力幅Δ<,τ>表征膜基界面疲劳强度。该文采用该方法对气相沉积硬质薄膜的结合强度进行了评定，并与划痕法进行比较。结果表明，薄膜在膜基界面剥落，该方法对界面因素十分敏感，而对非界面因素不敏感，因而是一个有效的测量膜基界面结合强度的方法。它可用来比较不同方法制备的不同成分和硬度的薄膜的结合强度。文中也指出了提高膜基结合强度的途径。