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随首超导薄膜电子学技术发以及新的利用YBCO薄膜局域改制作超导微波无源器件方法的出现，研究超导薄膜表面的局域微波特性及其在薄膜及其在薄膜表面的空间分布图象变得越来越重要。该文介绍了作者设计制作的同轴谐振腔型微波近场扫描显微镜及其工作原理。了检验其在超导薄膜评价及超导无源器件检测方面的性能，作者分别采用氟化和激光局域改性的方法在YBCO超导薄膜表面制作了条纹器件，利用微波近场扫描显微镜检测了器件表面局域微波特性分布和表面形貌的变化，并对检测结果进行了分析。