有机掺铒波导放大器的最新进展

来源 :全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tegger
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有机光波导放大器相对于其他光放大器有价格低、易于制作、便于集成的优势.我们研究了它的工作原理,综述了有机波导放大器的几种制作工艺和相应的材料,并给出这几种工艺制作的波导放大器的测试结果,其中包括离子注入、电子束直写、紫外光直写和反应离子刻蚀.最后介绍了波导放大器的反应离子刻蚀工艺和测试结果.
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