【摘 要】
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本文用有限元方法研究了影响位置敏感探测器（PSD）度的结构因素，给出了计算模型和分析方法，以枕形结构和方框形结构二维PSD 为例，计算并讨论了这两种结构二维PSD结构参数、电参数、负载等因素对其位置线性度的影响，计算结果与他人报道的实验结果基本吻合，并得到了对设计和应用PSD 具有指导和参考意义的参数和应用数据。
【机 构】
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上海交通大学物理系光学工程研究所 浙江大学国家光学工程仪器技术研究中心
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本文用有限元方法研究了影响位置敏感探测器（PSD）度的结构因素，给出了计算模型和分析方法，以枕形结构和方框形结构二维PSD 为例，计算并讨论了这两种结构二维PSD结构参数、电参数、负载等因素对其位置线性度的影响，计算结果与他人报道的实验结果基本吻合，并得到了对设计和应用PSD 具有指导和参考意义的参数和应用数据。
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