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离子溅射仪在有序纳米结构组装中的应用
【机 构】
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中国科学院固体物理研究所,材料物理重点实验室,安徽 合肥 230031
【出 处】
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2015年全国电子显微学学术会议
【发表日期】
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2015年期
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