论文部分内容阅读
航空发动机被喻为"飞机的心脏"，除材料和加工技术外，测试技术也是航空发动机研制的关键技术之一。虽然，传感器是开展测试的基础，但由于航空发动机的特殊性，加之其工作环境非常恶劣，对传感器提出了很高的技术要求，也一直是我国航空发动机测试技术领域的短板。
航空发动机测试专用薄膜传感器研制
【摘 要】
：
航空发动机被喻为"飞机的心脏"，除材料和加工技术外，测试技术也是航空发动机研制的关键技术之一。虽然，传感器是开展测试的基础，但由于航空发动机的特殊性，加之其工作环境非常恶劣，对传感器提出了很高的技术要求，也一直是我国航空发动机测试技术领域的短板。
【机 构】
：
电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
：
第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
：
2016年5期
其他文献
Nb掺杂TiO2(NTO)薄膜是一种新型的透明导电材料，由于其性能稳定、价格低廉，具有宽禁带、可见光透过率高、电阻率低等特性，所以有望替代需大量消耗稀有金属In的ITO薄膜材料。
自支撑金刚石厚膜兼金刚石最高的弹性刚度系数以及最高声速等优异性能，是SAW滤波器合理的基片材料，避免了其它基片散热差的问题。
有机光伏电池作为一种理想的可再生能源形式是当今研究的热点之一。为了提高其光电转换效率并实现商业化，随着研究的深入，有机半导体薄膜的界面问题变得尤为关键。
ZnO作为一种直接宽带隙(3.37eV)半导体材料，具有很高的室温下的激子束缚能，而且化学性质稳定、无毒，是理想的光电材料，具有较大的应用潜力.
熔融LiCl-KCl-K2CO3体系中，在不锈钢和金属钛基体上利用电化学方法沉积碳膜。为了提高碳膜和金属基体的结合力，在碳膜和金属基体之间制备M-O-C中间层。
表面等离子体技术在太阳能电池和LED等新型光电转换器件中具有十分重要的应用前景。与传统的光电转换器相比，在薄膜太阳能电池中引入Ag纳米颗粒可使得其光电转换效率得到明显提高。
掺杂金刚石膜由于具有较宽的电势窗口，极低的背景电流，稳定的化学性质，在强酸、强碱中不会被腐蚀，有良好的吸附惰性，在电化学污水处理、电化学分析等领域有良好的应用前景。
掺硼金刚石膜由于具有较高的掺杂效率，可实现较大的载流子浓度和高的电导率，在很多领域已获得应用。相对而言掺氮金刚石膜的研究结果比较少。
基于碳纳米管合成的化学传感器对NH3、NO和H2特殊气氛灵敏度较好，其电导率变化在短时间内提高了3个数量级。而作为半导体材料，金属氧化物的能级结构可随被检测物的吸附而发生变化，引起电学性质的变化并被检测。