沟道技术分析As注入Si瞬态退火中晶格畸变对P-N结漏电的影响

来源 :第六届全国电子束离子束光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tiantangdaoguo

【出处】

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第六届全国电子束离子束光子束学术年会

【发表日期】

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1991年期

【关键词】

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