角加速度传感器的结构分析

来源 :2008中国仪器仪表与测控技术报告大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yilvQINGFENG
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给出了建立角加速度传感器整体结构分析模型的思想和方法。用有限元不同的元素组合建立了角加速度传感器的整体结构分析模型。应用刚度叠加法解决了离散结构物理自由度不连续问题,保证了离散结构整体物理自由度的连续性。实现了对角加速度传感器整体结构的静态和动态仿真分析,给出了具体的分析结果和硅片的控制优化设计方法;使角加速度传感器的结构分析和设计更加合理。
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