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扫描近场光学显微镜是近年来出现的一种新型光电测量仪器，其测量分辨率可超过衍射极限。该文介绍扫描近场光学显微镜的工作原理、仪器结构，并报道了用这种仪器测量半导体激光器特性的实验结果。
扫描近场光学显微镜及其应用
【摘 要】
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扫描近场光学显微镜是近年来出现的一种新型光电测量仪器，其测量分辨率可超过衍射极限。该文介绍扫描近场光学显微镜的工作原理、仪器结构，并报道了用这种仪器测量半导体激光器
【机 构】
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北京理工大学光电工程系
【出 处】
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展望21世纪初光电技术发展趋势研讨会
【发表日期】
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2000年1期
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