【摘 要】
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作为OLED的一个主要部分,ITO的表面形貌以及表面性能,对整个器件的性能起决定性作用.我们分别采用超声波清洗、OPlasma、UV-ozone方法对ITO的表面进行处理,用原子力显微镜(AF
【机 构】
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北京理工大学信息科学技术学院光电工程系(北京)
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作为OLED<,s>的一个主要部分,ITO的表面形貌以及表面性能,对整个器件的性能起决定性作用.我们分别采用超声波清洗、O<,2>Plasma、UV-ozone方法对ITO的表面进行处理,用原子力显微镜(AFM)观测了处理后ITO的表面形貌,并用不同方法处理的ITO制作了结构为ITO/NPB/Alq<,3>/Al的电致发光器件,比较了各种方法对器件性能的影响.结果表明这些方法可以改变ITO的表面化学成分以及结构,大幅度的提高器件的亮度、寿命以及稳定性,尤其是氧离子轰击最为有效的.
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