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在化工与制药领域中，使用干式真空泵的最大挑战来自进泵介质。这些介质大部分为非空气未凝汽体，在真空泵内可能发生冷凝与结晶、腐蚀与流蚀、燃烧与爆炸、交联与聚合、碳化与焦化等等理化反应，致使真空泵损坏而不能工作。解决这些难题的关键常常不在真空泵的本身，而在流程设计。解决思路是从化学机理切入，找到形成以上理化反应的条件，用化工原理的方法设计流程，避免或是破坏这些理化变化的一个或几个条件，致使反应不可能发生，从而保证真空系统的安全运行。