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介绍了工程型高温度梯度单晶炉控制系统，其采用了先进器件和完善的软件开发为单晶炉功能的实现提供了坚强的保障。
高温度梯度单晶炉控制系统
【摘 要】
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介绍了工程型高温度梯度单晶炉控制系统，其采用了先进器件和完善的软件开发为单晶炉功能的实现提供了坚强的保障。
【机 构】
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锦州锦开电器集团有限责任公司,辽宁锦州 121013
【出 处】
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第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE2015)
【发表日期】
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2015年期
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