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一种新型TiO氧化物薄膜的试验研究

来源 :1998年中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：num184015922

【摘 要】

：

该文根据成膜原理和ＴｉＯ〈，２〉的特性，提出了一种新型的ＴｉＯ〈，２〉薄膜成型技术，并对其涂覆工艺、结合强度进行了试验研究。结果表明，该文所研制的ＴｉＯ〈，２〉薄膜具有工艺简单，性能优良，成本低廉的优点，可广泛应用于机械零件、电气元件表面的耐磨、耐腐、防热绝热、电绝缘等防护处理。

【作 者】

：

孙宝臣 杜彦良 赵田臣 

【机 构】

：

庄铁道学院

【出 处】

：

1998年中国材料研讨会

【发表日期】

：

1998年12期

【关键词】

：

薄膜 二氧化钛 二氧化钛薄膜 

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该文根据成膜原理和ＴｉＯ〈，２〉的特性，提出了一种新型的ＴｉＯ〈，２〉薄膜成型技术，并对其涂覆工艺、结合强度进行了试验研究。结果表明，该文所研制的ＴｉＯ〈，２〉薄膜具有工艺简单，性能优良，成本低廉的优点，可广泛应用于机械零件、电气元件表面的耐磨、耐腐、防热绝热、电绝缘等防护处理。

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