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本文主要介绍近两年来飞秒激光微加工技术进展，其中包括飞秒激光微加工原理与实验系统，微加工工艺研究以及双光子飞秒激光三维微器件和三维信息存储研究。对双光子飞秒激光加工点分辨率也进行了有益的探索。
飞秒激光微加工技术研究进展
【摘 要】
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本文主要介绍近两年来飞秒激光微加工技术进展，其中包括飞秒激光微加工原理与实验系统，微加工工艺研究以及双光子飞秒激光三维微器件和三维信息存储研究。对双光子飞秒激光加工
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026
【出 处】
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中国光学学会2004年学术大会
【发表日期】
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2004年期
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