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本文通过直流反应磁控溅射的方法,利用碳钛镶嵌靶在Ar/O2 气氛中制备了碳掺杂纳米TiO2 薄膜,并用SEM 及光电化学的方法对薄膜进行了表征。SEM 结果显示薄膜是均匀的颗粒结构。光电测试结果显示退火可以提高薄膜光电催化活性,并减小薄膜表面态密度,提高薄膜光电响应速度;适量碳掺杂可以提高光生载流子向ITO 电极的传输速率,减小光生电子被表面态捕获的概率,提高薄膜光电响应速度,但碳过量时会使薄膜浅能级表面态密度增加,使其光电响应不稳定。