【摘 要】
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纳米金刚石膜与其它真空窗口材料相比,在较薄的条件下,具有较高的机械强度,因而非常适合作为真空窗口材料.本论文采用自制的微波等离子体化学气相沉积装置,以乙醇为碳源
【机 构】
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武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉430073
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纳米金刚石膜与其它真空窗口材料相比,在较薄的条件下,具有较高的机械强度,因而非常适合作为真空窗口材料.本论文采用自制的微波等离子体化学气相沉积装置,以乙醇为碳源制备了金刚石膜,通过场发射扫描电镜(SEM)、X射线衍射、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)表征分析得出制备的金刚石膜为纳米金刚石膜,窗口的厚度范围为3.29μm-40μm,平均粗糙度为39.5nm.通过自制的漏气率测量系统,测得厚度为40μm的纳米金刚石膜窗口漏气率为8.8伊10-9Pa·m3/s.安装纳米金刚石膜真空窗后真空系统的漏气率增加了19％,表明：纳米金刚石膜真空窗口的漏气率性能很好.
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