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介绍热靶的研制和解决热靶产生的热电子及感应电流对注入样品剂量的影响问题.
离子注入工艺中热靶的研究
【摘 要】
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介绍热靶的研制和解决热靶产生的热电子及感应电流对注入样品剂量的影响问题.
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年期
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