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该文根据纳米级定位技术的需求，提出了机构、驱动、检测一体化的定痊技术和控制方法，分析了其中的关键问题，并介绍了作者设计的几种典型系统的原理和实物。机构、驱动、检测一体化的定位技术是根据纳米级定位的高精度要求，将高精度驱动器、无间隙和无无摩擦的弹性纲构、高精度传感器和有效的控制算法有机地结合，系统不但具有很好的静态特性，还具有较好的动态性能。