纳米调制多层膜相关硕士博士期刊学术论文

该文用磁控溅射法在Ｓｉ基底上制备了不同调制波长λ的ＳｉＣ／Ｗ纳米多层膜，对上述纳米薄膜进行了多载荷超显微硬度测试，并研究了薄膜的硬度变化规......