【摘 要】
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在已有高频脉冲管制冷机基础上，去掉了低温下一般都必用的维持高真空的真空罩，改进了脉冲管制冷机的设计以求在高温区维持较高的效率。实验表明改进后的脉冲管制冷机能达到-100℃的深冷温区，这为深冷温区微小冷量的用户开辟了一条新的思路。应用此制冷机为中科院微电子所电路芯片提供冷却，进行了初步的应用试验。
【机 构】
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中国科学院理化技术研究所 北京 100080 中国科学院研究生院 北京 100039 中国科学院理
【出 处】
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第八届全国低温工程大会暨中国航天低温专业信息网2007年度学术交流会
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在已有高频脉冲管制冷机基础上，去掉了低温下一般都必用的维持高真空的真空罩，改进了脉冲管制冷机的设计以求在高温区维持较高的效率。实验表明改进后的脉冲管制冷机能达到-100℃的深冷温区，这为深冷温区微小冷量的用户开辟了一条新的思路。应用此制冷机为中科院微电子所电路芯片提供冷却，进行了初步的应用试验。
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