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根据微电子封装设备定位平台高速高精度的特点，本文讨论精密定位系统中工作台机构形式、驱动方式、运动控制器、实时检测等关键技术和国内外现状。为研发新型微电子封装高精密定位系统提供参考。
微电子封装设备精密定位系统的分析
【摘 要】
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根据微电子封装设备定位平台高速高精度的特点，本文讨论精密定位系统中工作台机构形式、驱动方式、运动控制器、实时检测等关键技术和国内外现状。为研发新型微电子封装高精密
【机 构】
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广东工业大学,广州,510006
【出 处】
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第十二届全国包装工程学术会议
【发表日期】
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2008年8期
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