【摘 要】
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随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展，推动了与之相关领域的发展速度。为了在调节空调制冷的同时，尽量降低散热器冷凝水使室内湿度降低而引起的人体睡眠后的呼吸不适感，为此本文提出一种基于MEMS技术的露点传感器，并对该传感器的具体设计进行分析优化。该MEMS传感器集成了温度传感器和电容传感器，用于测量散热器结露情况及散热器温度。同时，进行了传感器的版图及MEMS工艺设计，最终完成流片。该MEMS露点
【出 处】
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中国环境科学学会室内环境与健康分会第八届学术年会( IEHB 2017)
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随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展，推动了与之相关领域的发展速度。为了在调节空调制冷的同时，尽量降低散热器冷凝水使室内湿度降低而引起的人体睡眠后的呼吸不适感，为此本文提出一种基于MEMS技术的露点传感器，并对该传感器的具体设计进行分析优化。该MEMS传感器集成了温度传感器和电容传感器，用于测量散热器结露情况及散热器温度。同时，进行了传感器的版图及MEMS工艺设计，最终完成流片。该MEMS露点传感器与传统的光学露点传感器相比，具有成本低，体积功耗小等优点，便于与空调等设备集成，有利于控制设备和改善用户使用体验。
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