MEMS传感器在动态测试中的应用

来源 :中国兵工学会第九届测试技术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tonybenben

【摘要】

：

该文在简单介绍ＭＥＭＳ传感器的基础上，重点介绍了有ＭＥＭＳ传感器构成的测量系统，及其在高过载低量程测量中的应用。

【作者】

：

翟成瑞张文栋张斌珍周勇军梁天波

【机构】

：

工学院

【出处】

：

中国兵工学会第九届测试技术年会

【发表日期】

：

1998年期

【关键词】

：

传感器动态测试ＭＥＭＳ低量程测量测量系统高过载应用基础构成

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该文在简单介绍ＭＥＭＳ传感器的基础上，重点介绍了有ＭＥＭＳ传感器构成的测量系统，及其在高过载低量程测量中的应用。

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