【摘 要】
：
随着真空技术的发展,真空获得设备也取得了长足的进步。从目前看,分子泵是获取高真空的主要设备。传统的涡轮分子泵在高速运行时,若承受大气冲击,会造成叶片严重损害.而且其最高连续工作压强仅1Pa左右,无法解决100～1Pa压强范围内的严重返油问题。由深圳市摩尔真空技术有限公司研制成功并完成产业化的新一代分子泵──分子/增压泵,在继承分子泵大压缩比、高抽速的优点基础上,具有优良的中高真空性能,引起业内关注
【机 构】
：
合肥工业大学,合肥 230009 深圳大学,深圳 518060
论文部分内容阅读
随着真空技术的发展,真空获得设备也取得了长足的进步。从目前看,分子泵是获取高真空的主要设备。传统的涡轮分子泵在高速运行时,若承受大气冲击,会造成叶片严重损害.而且其最高连续工作压强仅1Pa左右,无法解决100～1Pa压强范围内的严重返油问题。由深圳市摩尔真空技术有限公司研制成功并完成产业化的新一代分子泵──分子/增压泵,在继承分子泵大压缩比、高抽速的优点基础上,具有优良的中高真空性能,引起业内关注。本文利用分子/增压泵优良的高压强性能,研究如何采用合理的抽气工艺,快速的实现高真空。
其他文献
宇宙是浩瀚无际的空间，充满着真空，具有十分复杂的自然环境；真空、低温、太阳辐照、离子辐射、X-射线、原子氧、太阳风、磁场、微流星、宇宙尘埃、引力、失重、碎片、辐射沉、分子沉等。本文重点讨论宇宙空间极高真空环境特性。按照国际宇航联合会的划分，距地球表面30Km以内为大气层。(30-100)Km为近太空的范围。100Km以上为宇宙空间。随着离开星球表面高度的增加，星球的引力减小，气体分子的密度也在不断
恶性肿瘤是目前危害人类健康最凶险的疾病之一，癌症死亡率在我国已升至第一位。利用重离子治癌，其能量主要通过电离而损失在射程末端，分布为一尖锐的Bragg峰，对正常组织的损伤小而对目标靶组织细胞造成不可修复的损伤，因此重离子治癌是一种高精度高治愈率的先进放疗方法。本文介绍了重离子加速器深层治癌束流线真空系统的结构，阐述了该系统的材料，分析了其系统非烘烤段采用的方法。
随着市场对稳定同位素需求的日益增加,要求对各种元素的同位素的检测结果要可靠,精度高.专用于铀化物的质谱仪进行了改装,调试,以适应于其他单一元素同位素及不同元素混合物的同位素的检测.本文以Xe、SF二种混合物的同位素为实例,采用改进了的质谱仪检测并对其结果给予评估.发现数据误差2﹪左右,有待进一步探索解决.
本文具体研究了外电场、碳纳米管自身线度、尤其管的阵列密度对其场发射性能的影响.在均匀碳纳米管阵列模型下,从理论上给出碳纳米管阵列的尖端电场、电场增强因子以及最佳阵列密度的解析表示式.理论结果表明,电场增强因子的数量级为10~10,并且碳纳米管阵列的电场增强因子与其管密度之间有着敏感的依赖关系,即当密度取某一特殊值(又被称为最佳密度值)时,电场增强因子会明显增大,相对最佳密度而言,过高或过低的管密度
用真空热压、真空"饱和蒸汽溶入"法相结合的方法成功地制备了均匀性及透光性良好的光折变高分子薄膜.由于在真空环境中制备并不使用有机溶剂,所以样品中晃存在残留溶剂和微气泡,大大改善了均匀性和耐电压特性.在双光束耦合测试中观察到了明显的光折变效应,且具有很强的电场响应特性,可得到较高的衍射效率.本方法在光学有机薄膜的制备方面有广泛的应用前景.
利用机械泵和涡轮分子泵为核心组成的发光屏动态测试系统,只需40min左右就可获得1×10Pa的真空度.由于电子枪采用了LaB阴极,可暴露于大气;并且利用光纤传输信号,连接到单色仪,信号经处理后送到微机完成光谱的自动测试.最后给出了YAG投影管用荧光粉的测试光谱.
增强器的弯转磁铁产生交变磁场，不锈钢真空室上产生的涡流会干扰主磁场。在保证其影响在允许范围内并有足够的刚度抵御大气压外，真空室结构要求简单，成本低，所需磁间隙最小。我们在设计中对真空室材料选择、结构方案的确定进行了仔细的考虑，通过必要的计算如涡流影响、真空室变形、真空室温升及压强分布，并考虑到加工的切实可行性(关键是椭圆管的拉制与弯曲)，我们预制了一套增强器标准单元真空室。验收指标说明设计合理，加
根据航天设备对表面膜层的特殊要求，特对表面工程技术和设备进行了长期的、专门的研究，现已完成。文中提出了集金属离子注入、磁控溅射、电弧离子镀和真空系统等多功能为一体化的新型设备研究方案，解决了多功能一体化的设备关键技术，实现了多种功能集成为一体的新型设备。提出了多种工艺技术有机结合、综合使用的新型综合工艺研究方案，解决了综合工艺的关键技术，完成了综合使用的新型工艺，达到了表面改性和成膜的特殊要求。该
通过对抚钢2004年从德国引进的12t真空电弧弧炉冶炼控制策略的分析,结合实际冶炼情况提出一些改善控制冶炼目标的局部策略。同时简要介绍国外真空电弧重熔炉冶炼控制原理和各参数之间的关系以及对钢锭的影响。并结合老炉子改造,对原有的国内控制方案提出了改进的方法,对国内其他老炉改造提供借鉴。
长期以来,平面基片连续镀膜生产线进片室配置的真空机组中,均以罗茨真空泵为主泵,其油蒸汽对经过和停留于此的清洁基片产生的污染以及派生的不利因素,对膜层质量会产生显性和隐性的负面影响。目前平面基片溅射镀膜领域已形成了巨大的产业化的规模,在国民经济中起到举足轻重的作用,因此这一现象亟待解决.而国内新开发出的新型泵种──分子增压泵,能涵盖罗茨真空泵大部分工作范围,具有优越的中真空抽气性能。它极高的压缩比可