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该文用无机盐替代锆的醇盐，通过SOl-Gel方法，成功合成了均匀、稳定的PZT溶胶。采用Pt/Ti／SiO<,2>／Si基片并加入PT过渡层，经快速热处理，制备出具有单一钙钛矿晶型、沿（100）高度定向的PZT陶瓷薄膜，此薄膜具有良好的铁电性能。
高取向度PZT铁电薄的溶胶—凝胶工艺
【摘 要】
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该文用无机盐替代锆的醇盐，通过SOl-Gel方法，成功合成了均匀、稳定的PZT溶胶。采用Pt/Ti／SiO／Si基片并加入PT过渡层，经快速热处理，制备出具有单一钙钛矿晶型、沿（100）高度定向的PZT陶
【机 构】
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工业大学北京研究生部(北京)
【出 处】
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中国电子学会第十届电子元件学术年会
【发表日期】
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1998年期
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