【摘 要】
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为了承载大电流需要,第二带高温超导带材要求微米级以上的涂层厚度,因此YBa2Cu3O7-δ(YBCO)厚膜的制备研究是相当重要的.采用直流溅射方法在LalO3基片制备得到了不同厚度高质
【机 构】
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电子薄膜与集成器件国家重点实验室,电子科技大学,成都,60054
【出 处】
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第九届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议
论文部分内容阅读
为了承载大电流需要,第二带高温超导带材要求微米级以上的涂层厚度,因此YBa2Cu3O7-δ(YBCO)厚膜的制备研究是相当重要的.采用直流溅射方法在LalO3基片制备得到了不同厚度高质量的YBCO超导薄膜.由于薄膜中Y组分过量,导致薄膜表面出现大量的孔洞,所制备得到的薄膜甚至达到2μm以上仍然没有裂纹存在.通过X射线衍射θ-2θ,ω扫描,极图,高分辨倒易空间扫描对所制备的不同厚度的YBCO薄膜进行了表征.所制备的不同厚度薄膜均为严格c轴取向,即使达到2μm厚度仍然没有a轴晶粒存在.厚度对YBCO薄膜表面形貌和电学性能有着重要的影响.
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