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微等离子体不仅具有传统等离子体的主要特性,通常还具有体积小、功耗低、温度低、电子密度/温度高、可大气压下操作等诸多优点,因此在光谱分析中受到关注,并被广泛用作其原子化器与激发源、或相关样品处理[1,2]。尖端放电是一类常用的放电微等离子体技术,其结构简单、易于驱动,更有利于实现光谱分析仪器的小型化(图1)。