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自组装岛状单层膜图案诱导湿法刻蚀构筑抗反射结构
【机 构】
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吉林大学超分子结构与材料国家重点实验室,吉林大学,130012,长春
【出 处】
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中国化学会第二十七届学术年会
【发表日期】
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2010年期
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