【摘 要】
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使用直流、射频磁控溅射方法在经过热处理后的不锈钢(SS)基底上沉积了W-Al2O3多层复合膜.该复合膜从基底以上包括红外反射层、不同金属体积比干涉吸收层和减反射层.通过XRD、SEM、EDX等测试手段,分析了导致涂层吸收率随退火条件的不同而发生变化的主要原因.随着退火温度的逐渐升高,各膜层表面结晶状况明显改善,杂质元素也相应减少,有利于该金属复合涂层吸收率的提高.当退火温度在500℃范围以内时,涂
【机 构】
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北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理研究中心,北京,100083
【出 处】
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2006北京国际材料周暨中国材料研讨会
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使用直流、射频磁控溅射方法在经过热处理后的不锈钢(SS)基底上沉积了W-Al2O3多层复合膜.该复合膜从基底以上包括红外反射层、不同金属体积比干涉吸收层和减反射层.通过XRD、SEM、EDX等测试手段,分析了导致涂层吸收率随退火条件的不同而发生变化的主要原因.随着退火温度的逐渐升高,各膜层表面结晶状况明显改善,杂质元素也相应减少,有利于该金属复合涂层吸收率的提高.当退火温度在500℃范围以内时,涂层的光学吸收率随温度升高而增大.
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