【摘 要】
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振动环型MEMS陀螺仪结构由一个振动环(Vibrating Ring)、八根半圆形弹性支撑梁(Support Springs)、驱动电极(Drive Electrodes)以及检测电极(Sense Electrodes)组成，如下
【机 构】
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北京航空航天大学中法工程师学院,北京 100083
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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振动环型MEMS陀螺仪结构由一个振动环(Vibrating Ring)、八根半圆形弹性支撑梁(Support Springs)、驱动电极(Drive Electrodes)以及检测电极(Sense Electrodes)组成，如下图所示。振动环型陀螺仪相比于其它类型振动陀螺仪有几个重要的优势：1)其良好的结构对称性使得陀螺仪对随机振动、温度变化等干扰因素的敏感度低；2)驱动模态和检测模态具有十分相近的属性，如谐振频率等，这保证了陀螺仪的高灵敏度；3)理论上任何由质量或刚度偏差造成的两个模态谐振频率不匹配都可以通过环周围的补偿电极来调谐。
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