【摘 要】
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基于SiC的MEMS电容式微压传感器可以工作在高温环境中，其采用电容式感压膜片感测外界压强的变化。为了实现高温环境下对电容信号的检测，本文采用驱动屏蔽电缆将感压膜片的
【机 构】
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航天长征火箭技术有限公司,北京 100076
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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基于SiC的MEMS电容式微压传感器可以工作在高温环境中，其采用电容式感压膜片感测外界压强的变化。为了实现高温环境下对电容信号的检测，本文采用驱动屏蔽电缆将感压膜片的电容信号引出到低温环境中进行检测，电容信号检测基于单片机和德国acam公司pcap01芯片的充放电法，此方法具有测量精度高、频率高、低温漂、集成度高、数字化等特点，特别适用于高精度、高动态的电容压力测量场合。
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