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该文介绍一种基于光学聚焦数字伺服测量的微位移传感器。其测量范围为2000μm、 垂直分辨率为30μm、横向分辨率为1.2μm、理论响应时间3ms。
激光聚焦式微位移传感器的研制
【摘 要】
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该文介绍一种基于光学聚焦数字伺服测量的微位移传感器。其测量范围为2000μm、 垂直分辨率为30μm、横向分辨率为1.2μm、理论响应时间3ms。
【机 构】
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湖北工学院质检教研室(湖北武汉)
【出 处】
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全国首届计算机辅助公差设计专题学术会议暨全国高校互换性与测量技术研究会2000年年会
【发表日期】
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2000年期
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