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衬底温度和氧气分压对a-InGaZnO4薄膜晶体管性能的影响
【机 构】
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紫外发光材料与技术教育部重点实验室东北师范大学 长春 130024
【出 处】
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第五届届全国氧化锌学术会议
【发表日期】
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2011年期
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