【摘 要】
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制备工艺对BST薄膜的微观结构有着重要的影。溶胶-凝胶法制备的薄膜致密性较差，究其主要原因是在排胶过程中分解和挥发大量的有机物。可在前驱液中添加丙三醇、PVP改变薄膜的
【机 构】
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电子科技大学电子科学技术研究院成都611731
【出 处】
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综合电子系统技术教育部重点实验室暨四川省高密度集成器件工程技术研究中心2012学术年会
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制备工艺对BST薄膜的微观结构有着重要的影。溶胶-凝胶法制备的薄膜致密性较差，究其主要原因是在排胶过程中分解和挥发大量的有机物。可在前驱液中添加丙三醇、PVP改变薄膜的表面形貌，从而提高BST薄膜的介电调谐性能。然而，对于多层BST薄膜，添加剂仅在一定程度上改变其形貌。经首层薄膜进行中间热处理(PT)和交替对奇数层进行中间热处理后，薄膜裂纹和缩孔显著减少，钙钛矿进一步增多，介电损耗明显降低，介电稳定性大幅度提高。制备大介电调谐率、低介电损耗、适中偏小介电常数的BST薄膜仍是研究的主题。选择一定的Ba/Sr元素比和适宜的掺杂元素，结合改进的溶胶-凝胶法制备工艺来制备多层BST薄膜，可获得具有巨调谐性能的BST薄膜，并进一步探索BST薄膜的介电调谐率机理。
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