【摘 要】
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本文以检测一氧化碳气体为目标,介绍一种新颖的Al2O3微结构基板的SnO2气体传感器.该传感器将硅微加热器式集成气体传感器的低功耗优点和烧结型SnO2气体传感器的成熟技术结合起来;除具有低功耗、高灵敏度等优点外,还具有无引线封装所形成的高可靠性等优点.文中介绍了这种传感器的设计和制造技术.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第49研究所 大连理工大学
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文以检测一氧化碳气体为目标,介绍一种新颖的Al2O3微结构基板的SnO2气体传感器.该传感器将硅微加热器式集成气体传感器的低功耗优点和烧结型SnO2气体传感器的成熟技术结合起来;除具有低功耗、高灵敏度等优点外,还具有无引线封装所形成的高可靠性等优点.文中介绍了这种传感器的设计和制造技术.
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