论文部分内容阅读
GaAsMMICT/R开关具有体积小、重量轻、功耗低、性能好等特点,适合了有源相控阵雷达TR组件的要求,有着广阔的应用前景。本文设计了三种匹配结构：一种全邵用微带线作匹配元件；U－种用空气桥与微带线结台作匹配元件；第三种是用键合引线与微带线结台共同作匹配元什。H计算机进行开关咆路的辅助设计和优化，用标准GaASI艺线进行串联制备。结果与测试结果一致表明,适当的改进匹配元件可以明显改善X波段GaAsMMICT/R开关的微波电性，或许这个方法也适用于其它GaAsMMIC电路。