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本文采用氯苯浸泡法对(0．2～2．0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2．0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥离出 8．0μm的缝隙。
Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究
【摘 要】
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本文采用氯苯浸泡法对(0．2～2．0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,
【机 构】
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福州大学电子科学与应用物理系
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金(No．60301006)福建省重点科技项目(No．2005H029)资助
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