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化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜具有一系列优良的物理化学性质,在X光领域有重要的应用潜力.本文报道采用热灯丝化学气相沉积法(HFCVD)制备金刚石软X光滤波器的实验.其软X光透射率明显优于传统的X光窗口材料铍,在新一代同步辐射光源软X光光线站的科学研究和亚微米大规模集成电路制版技术方面具有光明的应用前景.