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利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢(HSS)衬底上沉积CNx/TiN多层复合膜,涂层的硬度超过50GPa.销-盘式磨擦试验研究了涂层的滑动磨擦性能,观察并分析了薄膜的磨损模式.实验表明交替涂层在高速和大载荷的条件下有很好的抗磨损性能.
CNx/TiN多层复合膜的磨擦磨损特性研究
【摘 要】
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利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢(HSS)衬底上沉积CNx/TiN多层复合膜,涂层的硬度超过50GPa.销-盘式磨擦试验研究了涂层的滑动磨擦性能,观察并分析了薄膜的磨损模
【机 构】
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武汉大学物理系加速器实验室(武汉)
【出 处】
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'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
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2001年期
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