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超快激光加工技术具备热影响区小、材料选择性小、加工精度高等独特性能，是目前超精细加工技术一种重要途径。系统方面，本文基于超快激光与物质相互作用一般性原理，提出了超快微加工系统指标参数的设计要求、以及激光螺旋加工头的工作原理和实现方案。技术方面，基于夫琅和费衍射和菲涅尔衍介绍了超快激光空间整形技术的原理和实现方法，以及整形技术在微加工中的应用。应用方面，介绍了喷油嘴倒锥孔的加工、叶片气膜孔加工、无损切割、表面微结构的加工和碳化硅复合陶瓷的加工和目前存在的问题。