【摘 要】
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本文在常规晶体硅电池工艺的基础上,利用Merck刻蚀浆料腐蚀钝化膜进行背面开孔的方式,制备局域背钝化(PERC)高效太阳电池,并通过网板设计不同开孔面积,对不同金属化面积的PER
【机 构】
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中山大学太阳能系统研究所,广东省光伏技术重点实验室,光电材料与技术国家重点实验室,广州510006
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本文在常规晶体硅电池工艺的基础上,利用Merck刻蚀浆料腐蚀钝化膜进行背面开孔的方式,制备局域背钝化(PERC)高效太阳电池,并通过网板设计不同开孔面积,对不同金属化面积的PERC电池及常规电池进行对比研究.目前普遍采用的激光开模,容易对衬底造成损伤,增大接触区域的复合速率,工艺较难控制,对设备的要求高,利用刻蚀浆料的方法,采用成熟的丝网印刷方式,可以很好的避开这些问题,通过调整印刷及烘干参数实现开模工艺的精确控制.通过不同金属化面积PERC电池的对比分析,确定出最佳的背面结构.
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