【摘 要】
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槽波导微环谐振器的谐振光谱对槽内材料折射率的改变有很好的响应特性,可以作为传感器应用于对气体,液体等的探测。本文分析纳米线微环和槽波导微环对环境折射率变化的灵敏度
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金(No.60776057,No.60837001,No.60877014);科技部“863”计划(No.2006AA03Z420)资助项目
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槽波导微环谐振器的谐振光谱对槽内材料折射率的改变有很好的响应特性,可以作为传感器应用于对气体,液体等的探测。本文分析纳米线微环和槽波导微环对环境折射率变化的灵敏度,以及Wh(两侧Si条的宽度)和Ws(中间的槽宽)的变化对槽波导微环传感特性的影响,结果表明,槽波导微环谐振器的谐振波长随外界折射率的增大发生线性红移,传感灵敏度达850nm/RIU远大于纳米线微环的传感灵敏度(57nm/RIU),并且适当减小Wh和增大Ws还会进一步增大槽微环的灵敏度,而且减小Wh和增大Ws,包层折射率对微环的有效折射率的影响dneff/dnc也变大。
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