论文部分内容阅读
给出了一个用约束刻蚀剂层技术对金属铜进行微区电化学刻蚀的电化学体系,并考查了约束剂的效果以及电流密度对被刻蚀区域显微结构的影响.结果表明,所用约束剂对扩散层有较好的约束作用;在低电流密度下刻蚀时会产生晶界优先腐蚀;一个能产生各向同性刻蚀的电流密度被确定.用AFM对孔深进行了表征.
用约束刻蚀剂层技术对铜进行微区电化学加工研究
【摘 要】
：
给出了一个用约束刻蚀剂层技术对金属铜进行微区电化学刻蚀的电化学体系,并考查了约束剂的效果以及电流密度对被刻蚀区域显微结构的影响.结果表明,所用约束剂对扩散层有较好
【机 构】
：
厦门大学化学系,固体表面物理化学国家重点实验室(厦门)
【出 处】
：
第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
：
2001年期
其他文献
对在MEMS器件的制作中应用的多种难以腐蚀的金属薄膜,剥离工艺是一种有效的图形制备方法,实验研究了采用铝薄膜作为牺牲层和双层光刻胶韧化两种工艺方法光刻剥离铂薄膜电阻,
会议
目的探讨针对术前结肠癌以及术后结肠癌复发疾病，观察选择CT诊断的临床价值。方法选取我院2012年12月~2014年12月结肠癌患者100例。针对所有患者分别选择CT诊断方法以及病理切
目的分析四联疗法联合消化内镜治疗胃溃疡出血的效果。方法选择本院2013年7月~2014年7月收治的62例胃溃疡出血患者，将其随机分成实验组和对照组各31例，实验组患者采用四联疗法
在以微阵列为基础的生物芯片制作中,喷液点样可能将成为较普遍的采用方式.这些装置中,喷嘴是将样本液滴投递到芯片表面的必要通道.文章探索了用新近发展的软刻法在PDMS材料中
目的观察和分析肠胃清口服液治疗慢性胃炎伴幽门螺杆菌感染临床疗效。方法在2011年2月~2012年2月接受慢性胃炎伴幽门螺杆菌感染治疗的202例患者，随机分为A、B、C、D四组，A组单
随着信息技术的不断发展和完善，病理学教学模式已经得到了本质上的转变，开始从知识教学转变为能力教学，通过多种教学途径对学生临床能力进行提升，从根本上改善了学生学习效益。本
针对真空压力传感器的硅-硅键合特点,开展硅-硅键合技术研究,得到一种有效的真空硅-硅键合方法,该方法用于真空压力传感器的研制中,有效键合面积达到90﹪以上,为真空压力传感器
文献纸张变质的情况十分复杂,不同质地的纸张材料、不同成分的色素材料和不同温湿度的保存环境都会导致不同的变质后果,例如木素含量过高的文献纸张在长期保存过程中会严重
近年来,各种天灾人祸频繁发生,严重影响着社会正常的生产、生活秩序,严重威胁着档案馆及馆藏档案的安全,给档案馆的生存与发展带来了严峻挑战。档案馆安全危机管理已经成为
在传统酸牛奶的基础上,利用先经活化,再经驯化扩大的嗜酸乳杆菌(Lactobacillus acidophilus,LA)、嗜热链球菌(Streptococcus thermopilus,ST)和保加利亚乳杆菌(Lactobacillus
会议